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光学检测仪和激光干涉仪

Hi-Marc150W-IR

主要特点:

Hi-Marc150W-IR干涉仪是一款针对近红外波段检测设计的高精度干涉仪,采用1064nm红外光源,延续了Hi-Marc系列的菲索型干涉原理,有效通光口径保持150mm规格,仪器集成优化的红外光学成像与高精度相移检测模块,可实现红外光学元件的面形、波前误差等参数的精准测量,适用于红外光学器件、系统研发、生产中的高精度检测场景。


仪器规格参数表:


光路结构 菲索 
有效口径 ≥150mm
光源 1064nm,相干长度大于100m
移相方式 PZT移相/波长移相
空腔精度   PV优于λ/20,RMS优于λ/100,波前测试误差优于λ/50 @λ=1064nm
RMS测试重复性   简单重复性优于λ/10000,
探测器分辨率 2448×2048,有效分辨率2048×2048
具备变倍功能 1×,3×,6×

苏公网安备 32010202010164号