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光学检测仪和激光干涉仪
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主要特点：
Hi-Marc150W-1550IR干涉仪是一款针对近红外波段检测设计的高精度干涉仪，采用1550nm红外光源，延续了Hi-Marc系列的菲索型干涉原理，有效通光口径保持150mm规格，仪器集成优化的红外光学成像与高精度相移检测模块，可实现红外光学元件的面形、波前误差等参数的精准测量，适用于红外光学器件研发、生产中的高精度检测场景。
仪器规格参数表：
| 光路结构 | 菲索 |
| 有效口径 | ≥150mm |
| 光源 | 1550nm，相干长度大于100m |
| 移相方式 | PZT移相/波长移相 |
| 空腔精度 | PV优于λ/20，RMS优于λ/100，波前测试误差优于λ/50 @λ=1550nm |
| RMS测试重复性 | 简单重复性优于λ/10000， |
| 探测器分辨率 | 2448×2048，有效分辨率2048×2048 （可选1K或2K） |
| 具备变倍功能 | 1×，3×，6× |
南京英特飞光电技术有限公司
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